隨著制造業(yè)對(duì)高精度,、高效率加工技術(shù)需求的不斷增長(zhǎng),，水導(dǎo)激光加工技術(shù)的市場(chǎng)潛力逐漸顯現(xiàn)。在航空航天,、電子制造,、醫(yī)療器械和汽車工業(yè)等高端制造領(lǐng)域，對(duì)材料的加工質(zhì)量和精度要求極高,，傳統(tǒng)加工方法難以滿足這些需求,，而水導(dǎo)激光加工技術(shù)則憑借其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，成為解決這些問(wèn)題的理想選擇,。傳統(tǒng)激光加工還存在一些局限性,，如熱影響區(qū)大、對(duì)高反射材料和熱敏感材料加工效果不佳等問(wèn)題,。為了克服這些問(wèn)題,，研究人員嘗試將高速水射流引入激光加工過(guò)程，形成了水導(dǎo)激光技術(shù),。這一技術(shù)利用水射流作為激光束的導(dǎo)向介質(zhì)和冷卻介質(zhì)，提高了加工質(zhì)量和材料適應(yīng)性。水導(dǎo)激光加工技術(shù)通過(guò)對(duì)傳統(tǒng)激光加工和水射流切割技術(shù)的改進(jìn)和創(chuàng)新,，以其高能量密度和高精度的特點(diǎn),，在制造業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

水導(dǎo)激光原理

圖1 水導(dǎo)激光的加工特性

如圖1所示,，水導(dǎo)激光的基本概念是利用水作為導(dǎo)光介質(zhì)來(lái)傳輸激光,。傳統(tǒng)的光纖通常由玻璃或塑料制成，內(nèi)部通過(guò)全內(nèi)反射來(lái)傳導(dǎo)光,。而水導(dǎo)激光系統(tǒng)則利用水的特殊光學(xué)特性,，特別是其對(duì)特定波長(zhǎng)激光的高透明度和低損耗特性。光在介質(zhì)中傳播時(shí),，當(dāng)光從高折射率介質(zhì)進(jìn)入低折射率介質(zhì)時(shí),，如果入射角大于某一臨界角，光將會(huì)在界面發(fā)生全內(nèi)反射,。傳統(tǒng)光纖即利用此原理,，通過(guò)玻璃纖維內(nèi)外層折射率的差異，使光在纖維內(nèi)部多次反射而傳輸,。水導(dǎo)激光則利用水的折射率（約為1.33）與周圍空氣的折射率（約為1.0）的差異,，同樣可以實(shí)現(xiàn)全內(nèi)反射。這樣,，激光可以在水中沿著特定路徑傳輸,，類似于光纖中的光傳播。

圖2 形成微水射流的噴嘴結(jié)構(gòu),。（a）縮流示意圖,；（b）毛細(xì)型噴嘴；（c）錐形噴嘴,；（d）上錐形噴嘴,；（e）下錐形噴嘴

圖2為不同形狀噴嘴下的水射流狀態(tài)，為了將激光耦合到水中,，以合適的角度射入水流中,，確保光在水流與空氣的界面發(fā)生全內(nèi)反射。在傳輸過(guò)程中,，水導(dǎo)激光系統(tǒng)必須保持穩(wěn)定的水流形態(tài),，以確保激光的持續(xù)傳輸和聚焦。由于水流的穩(wěn)定性和形態(tài)控制是關(guān)鍵,，因此通常需要精密的控制系統(tǒng)來(lái)保持水流的穩(wěn)定和均勻,，因此噴嘴極為重要。另外水對(duì)不同波長(zhǎng)的光具有不同的吸收和散射特性,，在可見(jiàn)光和近紅外波段,，水的吸收相對(duì)較低,，這使得水導(dǎo)激光在這些波段內(nèi)具有良好的傳輸性能。此外,，水的散射特性也較低,，有助于減少激光傳輸過(guò)程中的損耗。然而,，水對(duì)遠(yuǎn)紅外和紫外波段的光吸收較強(qiáng),，因此水導(dǎo)激光主要應(yīng)用于可見(jiàn)光和近紅外波段。

水導(dǎo)激光加工優(yōu)勢(shì)

傳統(tǒng)加工方式主要包括機(jī)械加工,、熱切割和傳統(tǒng)激光切割等,。這些加工方式或多或少的在精度、效率和對(duì)材料的影響方面存在一定的局限性,。例如,，機(jī)械加工雖然廣泛應(yīng)用于各種材料的加工，但由于刀具的磨損和接觸式加工方式,，容易引起材料表面的微觀損傷和熱變形,，限制了加工精度和表面質(zhì)量。此外,，熱切割方式如等離子切割和火焰切割,，雖然能夠快速切割厚材料，但其高溫處理過(guò)程容易導(dǎo)致材料的熱影響區(qū)增大,，產(chǎn)生熱應(yīng)力和微裂紋,，降低了成品的機(jī)械性能和耐用性。

圖3 傳統(tǒng)激光加工與水導(dǎo)激光加工特點(diǎn)比對(duì)

同時(shí)水導(dǎo)激光加工技術(shù)相較于傳統(tǒng)激光加工具有顯著的優(yōu)勢(shì),。如圖3所示,，水導(dǎo)激光利用水作為傳導(dǎo)介質(zhì)，能夠有效地冷卻加工區(qū)域,，減少熱影響區(qū),，從而避免材料變形和微裂紋的產(chǎn)生，提高加工精度和質(zhì)量（圖4）,。

圖4 典型切割打孔加工技術(shù)特點(diǎn)比較

相較之下,，水導(dǎo)激光加工技術(shù)結(jié)合了水和激光的雙重優(yōu)點(diǎn)，克服了傳統(tǒng)加工方式的諸多短板,。首先,，水導(dǎo)激光通過(guò)水流引導(dǎo)激光束的傳輸，有效地冷卻加工區(qū)域,，顯著減少了熱影響區(qū),。這種冷卻效果不僅防止了材料因高溫而變形，還減少了熱應(yīng)力和微裂紋的產(chǎn)生,，提高了加工件的機(jī)械性能和表面質(zhì)量,?？茖W(xué)研究表明，水的高比熱容使其在激光加工過(guò)程中能迅速吸收和散熱,，有效保護(hù)了加工區(qū)域的材料特性,。

其次，水導(dǎo)激光加工技術(shù)利用水的光學(xué)特性,，增強(qiáng)了激光束的聚焦能力和能量密度。水的導(dǎo)光性和折射率特性使得激光束在水中能保持穩(wěn)定的傳輸路徑,，避免了在空氣中傳輸時(shí)的能量散射和損失,。這不僅提高了加工效率，還使得加工過(guò)程更加精準(zhǔn),，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜和精細(xì)的切割和打孔操作,。

此外，水導(dǎo)激光還具有環(huán)保和安全的優(yōu)勢(shì),。加工過(guò)程中,，水介質(zhì)能夠有效捕捉和帶走產(chǎn)生的煙塵、碎屑和有害氣體,，減少了對(duì)環(huán)境的污染和對(duì)操作人員的健康危害,。相比傳統(tǒng)加工方式中常見(jiàn)的高溫?zé)熿F和金屬粉塵，水導(dǎo)激光的濕式操作環(huán)境顯得更加清潔和安全,。

在航空航天領(lǐng)域,，材料通常具有高強(qiáng)度、高硬度和高耐熱性,，例如鈦合金,、鎳基合金、CFRP,、CMC以及陶瓷材料等,。傳統(tǒng)加工方法難以同時(shí)滿足精度和效率的要求，而水導(dǎo)激光加工技術(shù)則憑借其高能量密度和精細(xì)冷卻效果優(yōu)勢(shì),，能夠精確切割和加工這些高性能材料,，減少熱影響區(qū)，防止材料變形和性能劣化,，從而確保零部件的質(zhì)量和可靠性,。

圖5 水導(dǎo)激光在航空航天領(lǐng)域上的應(yīng)用

表1 水導(dǎo)激光在航空航天零部件上的應(yīng)用

醫(yī)療器械的制造要求極高的精度和潔凈度，如微創(chuàng)手術(shù)工具,、植入物和診斷治療裝置等,。水導(dǎo)激光加工技術(shù)通過(guò)水流冷卻和清潔加工表面，避免了傳統(tǒng)激光加工中可能產(chǎn)生的熱損傷和表面污染,，確保了器械的精度和生物相容性,。此外,，水導(dǎo)激光能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜幾何形狀的精密加工，滿足個(gè)性化醫(yī)療器械的需求,。

圖6 水導(dǎo)激光在醫(yī)療器械上的應(yīng)用

表2 水導(dǎo)激光在醫(yī)療器械零部件的應(yīng)用

在電子行業(yè),，尤其是微電子和半導(dǎo)體制造中，水導(dǎo)激光加工技術(shù)以其精確度和無(wú)熱損傷的特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于硅片切割,、芯片封裝和微結(jié)構(gòu)加工,。水的冷卻作用減少了激光加工過(guò)程中的熱效應(yīng)，防止了微電子元件的熱損壞,，提高了產(chǎn)品的可靠性和性能,。

圖7 水導(dǎo)激光在電子產(chǎn)品上的應(yīng)用

表3 水導(dǎo)激光在電子產(chǎn)品零部件上的應(yīng)用

圖8 水導(dǎo)激光在金剛石領(lǐng)域的應(yīng)用

表4 水導(dǎo)激光在金剛石零部件的應(yīng)用

中科煜宸激光--水導(dǎo)激光加工技術(shù)

中科煜宸立足于自主創(chuàng)新,，致力于推進(jìn)先進(jìn)水導(dǎo)激光設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化開(kāi)發(fā)和本土化服務(wù)，現(xiàn)已發(fā)布五款（RJ系列：RJ203,、RJ205,、RJ305、RJ505,、RJ1005）標(biāo)準(zhǔn)型水導(dǎo)激光加工設(shè)備,，覆蓋了科研、航空航天和一般工業(yè)市場(chǎng)上主流的小,、中,、大型零件的加工能力。

中科煜宸提供水導(dǎo)激光加工服務(wù)全流程解決方案,，已與國(guó)內(nèi)數(shù)百家客戶建立了水導(dǎo)激光加工服務(wù)合作,，工藝團(tuán)隊(duì)通過(guò)近三年的工藝開(kāi)發(fā)和積累,，已建立多金屬（鋁合金、不銹鋼,、鈦合金,、高溫合金、銅合金）,、復(fù)合材料（CFRP,、CMC）、帶熱障涂層的單晶高溫合金（TBC）,、半導(dǎo)體/陶瓷（SIC,、ALN、ZrO2,、SIN）、金剛石以及多種脆硬材料（磁鋼,、鎢鋼）等材料的工藝數(shù)據(jù)庫(kù),，先后突破金屬表面粗糙度質(zhì)量提升和高效加工、復(fù)合材料無(wú)燒蝕高效加工,、熱障涂層大傾角和深徑比微孔高效加工,、大深度金剛石切片、大深度磁鋼和陶瓷高效切割等多項(xiàng)技術(shù)難題,。

圖9  RJ系列水導(dǎo)激光加工裝備